目前對於無機酸鹼性氣體之處理方法主要以吸收法為主，其原理為藉由氣液兩相接觸之氣體吸收程序，將氣體中之溶質吸收輸送至液體內部，常見之吸收洗滌裝置有：噴淋塔(spary column)、板式吸收塔(plateabsorption tower)及填充塔(packed tower)等，所用之裝置，必須能使氣體與液體充分接觸，以提高吸收效率。其中又以填充塔為各種氣體吸收洗滌塔中最被廣泛使用，而園區內半導體及光電業廠家，也多以使用濕式洗滌塔來作為處理酸性及鹼性氣體之防制設施。

濕式洗滌塔可處理廢氣中之粒狀物，同時亦可去除廢氣中所含之氣態污染物，而對某些氣態污染物而言，可以生產或回收有用之化學物質，且可緩衝污染物之突增負荷，繼續維持高效率操作。其噴出洗滌液之反應，舉例說明如下：
填充式洗滌塔之構造如下圖所示，塔中通常填充著比表面積甚大之填料物(packing)，其目的乃欲使氣體與液體間具有充分接觸之機會。操作時，氣體混合由塔底進入，液體吸收劑則自塔頂由一分佈器噴淋而下，然後在其流經填料的途中，與逆流而上之氣體接觸，並吸收氣相中之溶質，遂成一溶液自塔底流出。一般而言填料在使用時，其堆置的方式常可成兩大類：1.任意堆置(dumped packing)之填料、2.整齊堆置(stacked packing)之填料。

一般在設計洗滌塔時亦須考慮幾個部份：

1. 尺寸：為使氣體速度均勻一致，並在可能發生迴流之處設置分調節板。
2. 噴嘴的選擇：一般洗滌液為循環使用，故高壓噴嘴式的洗滌塔對於所使用的液體要求最嚴格。
3. 液體處理設備：為防止洗滌液造成環境污染問題，因此經常循環使用洗滌液以減少廢水量，但也因此增加了污染物的濃度，另外選擇不同的洗滌液可同時處理不同的氣體。由於洗滌廢液具有腐蝕性，故亦需使用防蝕性材質。
4. 潤濕因子：填充式洗滌塔為一利用洗滌液體與氣狀污染物之氣液接觸，進而吸收處理污染物之設備。因此，為了使液體能夠均勻分佈在填充物上，已增加氣體與液體完全接觸之面積。所以，洗滌液體的澆注量需符合最小潤濕因子(Minimum-Wetting Factor：MWF)值的要求，其計算公式和規範中所規定的值如下：填充物之比表面積：填充物有非常多種，其可選擇之直徑尺寸從30 mm 到95 mm 都有。在選擇尺寸時，應以塔徑之1/10 至1/8 為原則，過大或過小會影響效率[2]。而材質之選擇以惰性、耐酸鹼及便宜為主。填充物之主要功能為：使液體能均勻分佈而增加質傳效率及氣、液體在槽中的均勻接觸。
5. 液氣比：洗滌塔是利用液體將空氣中污染物吸收處理，所以液氣比為一相當重要之操作參數，其對洗滌塔的效率有很大的影響。

而由最小潤濕因子(Minimum-Wetting Factor：MWF)值的要求，以填充物之a = 90 m2/m3 為例，其所需之最小液體流速VL=2.5×10-3m/s。而當氣體流速(VG)大於2.5 m/s 時，易導致溢流(flooding)現象之發生。而最佳氣體流速為溢流點(flooding point)流速之60 %至80 %。即VG = 1.75 m/s，則所需液氣比(LM/GM)為：LM/GM = (VL×A×ρL)/(VG×A×ρG) (1)= (2.5×10-3×A×1000)/(1.75×A×1.17)=1.22其中ρL 和ρG 為液體和氣體之比重(Kg/m3)、A 為塔之截面積。